本文標(biāo)題："電子微探針?lè)治銎饔脕?lái)對(duì)氣體顯微基礎(chǔ)的分析數(shù)據(jù)"

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電子微探針?lè)治銎饔脕?lái)對(duì)氣體顯微基礎(chǔ)的分析數(shù)據(jù)

    各種顯微鏡中，圖像是在同一瞬時(shí)形成的。還有三種
儀器:掃描電子顯微鏡(STEM)、電子微探針?lè)治銎?EMA)和離子
微分析器(IMA)。采用加速了的粒子細(xì)小聚光束轟擊樣品，前兩種
是用電子束;后一種則用氣體離子束。聚焦光束在樣品上掃出的
光柵，其方式和電視管的掃描光柵一樣。由這類儀器產(chǎn)生的圖像
顯示在電視顯像管上，其光柵和儀器的光束掃描是同步的。在特
定的瞬間，只有觀察區(qū)內(nèi)的小點(diǎn)上發(fā)射出信號(hào)。
    電子微探針?lè)治銎饔脕?lái)產(chǎn)生顯微基礎(chǔ)的分析數(shù)據(jù)，掃描電子
顯微鏡主要用作放大儀器，兩者都采用聚焦電子束。若縮小電子
微探針?lè)治銎鞯碾娮邮睆?，并使掃描電子顯微鏡加上X一射線質(zhì)
譜儀，那么，這兩種儀器將有更多相互補(bǔ)充的功能?？梢灶A(yù)料，將
會(huì)出現(xiàn)一種儀器同時(shí)具有上述兩種儀器的功能。

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