本文標題："對測量氣體粒徑小于0.3微米的兩種儀器評述"

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對測量氣體粒徑小于0.3微米的兩種儀器評述
                         
    雖然顯微鏡檢臉產品或過濾面是測量粒子污染有效的方
法，但是，如不采用自動化，這些方法就既縈瑣，又浪費時間。
光故射粒子計數器的研制成功使瞬時測試成為可能，氣體的物
質粒子含量降到0.3微米，液體降到2微米。當然，由這類儀器
所取得的表面潔凈度的資料是第二手的。
    可以這樣假設:如果產品只是在潔凈環(huán)境中暴蜷,那么，從該
環(huán)境落到產品表面的粒子數為零。連續(xù)監(jiān)視產品周圍環(huán)境，對引
起產品表面污染的環(huán)境潔凈度進行瞬時識別。光散射粒子計數器
可對長時間特定位置作連續(xù)自動監(jiān)視。所得數據的分析只是一項
必要工作。由于光散射粒子監(jiān)視器很近要，并且應用廣泛，所以
將詳細地討論這類設備。

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